AlNテンプレート
用途
- 殺菌、フォトセラピー（光線療法）、樹脂硬化用の紫外線LED
特徴
- HVPE法により高い結晶性、膜厚均一性、表面品質を実現
- 可視～紫外線領域における高い透光性
X線ロッキングカーブ（FSS上のAlNテンプレート）
半値幅の面内分布（ウェハ中心から+/-15mmの位置）
（0002） （10-12）
（0002） （10-12）
| 111 | 292 | |||||
| 127 | 117 | 102 | 274 | 291 | 295 | |
| 119 | 283 |
平均：115sec 平均：287sec
厚さのウエハ面内分布
光吸収スペクトル
製品
- FSS上の2インチAlNテンプレート（サンプル対応中）
- PSS上の2インチAlNテンプレート（開発中）